Taşındım! Yeni adresim: http://nanoturkiye.net

23 Mart 2008 Pazar

NANO 101 - Maske

Fotolitografide maske üzerinde bulunan desen, sübstrata aktarılır. Bazen maskedeki desen ile aktarılan yüzeydeki desenin boyu aynıdır. Bazı durumlarda ise maskedeki desen sübstrat üzerindeki gerçek desenden 4-5 kat büyüktür. Bu tip desenler indirgeme ve küçültme yöntemi ile sübstrata aktarılır.

Maskeler X-ışını, aşırı mor ötesi, elektron hüzmeli izdüşüm, iyon hüzmeli litografyasında da kullanılır. X-ışını litografyasında maske ve sübstrat desen boyu 1'e 1'dir. Diğer yöntemlerde aktarım için indirgeme yöntemi kullanılır.

Maskelerin daha büyük yapılmasının sebebi, kolay üretimdir. Nakil sırasında, maskedeki bozukluklar da aynen sübstrata aktarılır. Bu bozuklukların tamiri, küçük maskelerde çok daha zor olmaktadır. Bir de maske büyük olunca, hataların büyüklükleri de 4-5 kat azalmış oluyor.

Fotomaskeler genelde 80-100 nm kalınlıkta Cr ile kaplı cam ya da sentetik kuvarstan yapılmaktadır. Maske direnen bir malzeme ile kaplı altlığın üzerine konulunca, desen oluşturucu ile gerekli şekiller çizilmektedir. Desen oluşturucular da genelde elektron hüzmeli yazıcı sistemlerdir, ama lazer tabanlı yazıcı sistemler de kullanılır.






Elektron demeti yazıcı sistemin avantajları: yüksek çözünürlüklü desenleme
Elektron demeti yazıcı sistemin dezavantajları: yavaş olması, pahalı aletler

Lazer tabanlı sistemlerin avantajları: daha ucuz aletler ve hızlılık
Lazer tabanlı sistemlerin dezavantajları: düşük çözünürlük (son yıllarda ciddi iyileştirme yapıldı)

Maske üzerinden direnen malzeme üzerinde gerekli desen oluşturulduktan sonra , direnen malzeme üzerindeki desen, sıvı kimyasal aşındırma yöntemi ile kazınır.

Sıvı kimyasal aşındırma çok basit bir yöntemdir ve hataları düzeltme imkanı verir.

Maske yapımının son aşaması kontrol ve tamirdir. Fotomaskeler optik yollarla kontrol edilir. Maskenin resmi, veritabanındaki modellerle karşılaştırılır ve hatalı bölgeler işaretlenir. Hatalar lazer tabanlı ya da iyon hüzmeli metodlarla düzeltilir. Eğer fazlalık varsa, fazla olan kısım lazerle aşındırılır ya da Ga odaklı elektron hüzmesi ile alınır. Eğer eksiklik varsa, bunun tamiri daha zordur, kimyasal buhar biriktirme ile gerekli kısım doldurulur.

Tamir edilen zarlar ince ve saydam bir film tabakası ile kaplanır ve saklanır.


Aşağıdaki resime bakarak, süreci daha iyi canlandırabiliriz:































Resmin orijinali: 1

 

Yukarı