NANO 101 - Direnen Malzemeler (resist)

- Genellikle sübstrata uygulanan ilk maddedir.
- Genellikle polimerdirler.
- Herhangi bir bölgeleri radyasyona maruz kaldırsa,bir madde içindeki çözünürlükleri değişir. (olumlu veya olumsuz etki)
- Olumlu etki: polimerdeki bağlar kopar, molekül ağırlığı düşer, çözünürlük artar. Böylece radyasyonlu bölgeler kazınabilir hale gelir.
- Olumsuz etki: polimerdeki bağ sayısı artar, molekül ağırlık artar, çözünürlük düşer. Böylece radyasyon almayan bölge kazınılır.

Kazılma işlemi sayesinde silikon üzerindeki istediğiniz deseni oluşturmuş olursunuz.

Kimyasal Özelliklerine Göre Direnen Malzemeler
1- Geleneksel: radyasyon enerjisini direk kimyasal reaksiyona dönüştürür.
2- Kimyasal olarak geliştirilmiş: ana reaksiyon dışında, katalitik reaksiyonlar meydana geliyor.

En yaygın direnen malzeme polymetilmetakrilattır. (PMMA) 30 yıldan beri nanolitografyada kullanılmaktadır ve hala bir çok laboratuvarda da kullanılır.













Resmin orijinali: 1