NANO 101- Nanolitografya

Litografya (ing. Lithography) taş baskı anlamına geliyor. Basit bir tanım verecek olursak, taş baskı: kireç taşı üzerine yağlı mürekkeple çizilmiş şekil ve yazıların basılmasıdır. Çeşitli yerlerde litografi ve litografya kelimelerinin ikisi de kullanılsa da, TDK Güncel Türkçe Sözlükte litografya kelimesini kullanmış, biz de o yüzden yazılarımızda litografya ve nanolitografya kelimelerini kullanacağız. (bkz)

Nanolitografya ise taş baskı işleminin nanoseviyede yapılmasıdır. Silikon altlık üzerine çeşitli tekniklerle şekil ve desenler çizmektir. Bu teknik günümüzde tümleşik devre yapımında kullanılır.

Nanolitografik teknikleri sırasıyla inceleyeceğiz.