NANO 101 - Elektron Demet Litografyası - 2

Direk Yazmalı Elektron Demet Litografyası
Bu uygulamalanın ilk hali bilgisayar kontrollü tarama tünelleme mikroskoplarını (TTM) kullanıyordu. Bugün birçok laboratuvardaki TTM'ler bu göreve uygun hale getirilmiştir. Bu sistemler, elektrona duyarlı direnen malzemeleri mikroskop tarafından üretilen 10 nm çapındaki demetlere maruz bırakıyor.

Sistemin çalışma mantığı şu: Bu yöntem maske yapımında kullanılır. Elektron demetleri ile yüzey taranıyor ve istenen desen ortaya çıkıyor. Deseni siz kendi hareketleriniz ile belirliyorsunuz. Demetleri odaklamak için manyetik lensler kullanılır.

Taradığınız yüzey 100-1000 mikron uzunluğunda olabilir. Onun için tüm yüzeyi taramak için sübstratın kendisi de hareket ettirilir.