NANO 101 - Elektron Demet Litografyası - 1

Elektron Demet Litografyası uzun süreden beri küçük parçalar üretmek için kullanılıyor. Bu teknolojiden ilk bahseden Feynman'dır. Meşhur "Aşağıda Daha Çok Şey Var" adlı konuşmasında, Feynman çivinin tepesine yazı yazmaktan bahseder. Bunun elektron mikroskopları ile mümkün olabileceğini ve bu sürecin yavaş olacağı tahminlerinde bulundu.

Elektron demet litografyasının avantajları:
1- Bilgisayar kontrollü olması
2- Maskeye ihtiyaç yok
3- 1 µm2den küçük desenler oluşturulabilir
4- Kırılma etkileri minimum

Dezavantajları:
1- Eksi yüklü elektron demetlerinde şişme oluyor
2- Işık kullanan litografik sistemlere göre pahalı ve daha yavaş
3- Direnen malzemede ileriye saçılma ve sübstratta geriye doğru saçılma çözünürlüğü düşürüyor.

2 çeşit elektron demet litografyası vardır:
Doğrudan Yazmalı Elektron Demet Litografyası
İzdüşümlü Elektron Demet Litografyası

Bu iki tekniği de sırayla inceleyeceğiz.