Taşındım! Yeni adresim: http://nanoturkiye.net

31 Mart 2008 Pazartesi

NANO 101 - Odaklanmış İyon Demet Litografyası - 1

-------------------------------------------------------------------------------------------------

Yeni yazılarımdan anında haberdar olmak istiyorsanız, RSS beslememe üye olabilirsiniz. RSS nedir ki, ne işe yarar diyenlere, şu videoyu armağan ediyorum.


-------------------------------------------------------------------------------------------------

Odaklanmış iyon demet litografyasında, odaklı iyon ucu, yüzeyi tarayarak eksiltici ya da artırıcı litografya yapar. Eksiltici litografya yüzeyden atom kopararak, artırıcı litografya da organik buhar ayrışmasıyla oluşan iyonları ekleyerek yapılır. İkincil elektron ve iyon üretimiyle de gerçek zamanlı görüntülere ulaşılır.

UNAM'daki Odaklanmış İyon Demet Litografyası odası:

UNAM Odaklanmış İyon Demet Litografyası odası











Bu sistemin ana malzemeleri aşağıdaki resimde görülüyor. Sırasıyla açıklayalım.

İyon tabancası: 10 keV enerjiye sahip hızlandırılmış iyon üretir. Bu iyonlar hedefe elektrostatik merceklerle odaklanır. İçerisinde sıvı metal vardır, genelde Ga katyonudur, çünkü oda sıcaklığında sıvı haldedir.

Altlık: Üzerinde direnen malzeme olan bir cisim. Direnen malzeme nedir? Hemen açıklayalım: yoğun iyon demetine maruz kaldığı zaman fiziksel veya kimyasal özellikleri değişen malzeme.

Yöntemin İngilizcesi: Focused Ion Beam Lithography

Odaklanmış İyon Demet Litografyası Çalışma Prensibi Resmi


















Odaklanmış İyon Demet litografyasının avantajları:

1- Bilgisayar kontrollü olması.
2- Maskeye gerek yok.
3- 1 µm'den küçük desen üretilebilir.
4- Direnen malzemeler, elektron demetindeki direnen malzemelerinden hassas.
5- Kırılma etkileri minimum seviyededir.
6- Küçük boyutlarda yüksek çözünürlük.
7- Hızlı prototipleme için uygun olması.

Dezavantajları:

1- Güvenilir iyon kaynağı gereklidir.
2- Eksi iyon kullanılırsa, şişmeler oluşur, bu da çözünürlüğü etkiler.
3- Elektron demet sistemine göre pahalıdır.
4- Üretim hızı. Sebep ise iyon hızının elektron hızından düşük olması.

Kaynak: 1

 

Yukarı